پرستو آهنی - دانشجوی کارشناسی ارشد گروه نانوفناوری، دانشکده ی علوم پایه، دانشگاه ارومیه
امیرموسی اباذری - استادیار گروه مهندسی مکانیک، دانشکده ی فنی، دانشگاه ارومیه
محمدتقی احمدی - دانشیار گروه فیزیک، دانشکده ی علوم پایه، دانشگاه ارومیه

با توجه به اهمیت بالا و کاربردهای گسترده ی شیشه ها در زمینه های مختلف که ناشی از ویژگیهای خاص فیزیکی آنها است، ماشینکاری قطعات شیشهای جایگاه بسیار مهمی دارد. شیشه ماده ای ترد است و با ماشینکاری ویفرهای شیشه ای در صنایع تکنولوژیکی میتوان به قطعات کاربردی نازک و بدون ترک دست پیدا کرد. در این تحقیق با بکارگیری روش اچینگ شیمیایی از سطح شیشه بروسیلیکات در 8 مرحله لایه برداری شده است. تاثیر تغییرات دما و دفعات استفاده از محلول اچنت بر ضریب اچینگ مورد بحث قرار گرفته و راهکارهایی برای داشتن قطعات با کیفیت و با تقارن بالا پیشنهاد شده است.

شیشه، بروسیلیکات، ماشینکاری، لایه برداری، اچنت