محسن ادیب زاده - دانشجوی فوق لیسانس موسسه آموزش عالی سجاد مشهد
محمدجواد زوارئی - دانشجوی فوق لیسانس موسسه آموزش عالی سجاد مشهد
خلیل مافی نژاد - استاد گروه الکترونیک موسسه آموزش عالی سجاد مشهد

در ابتدای این مقاله معیارهای شایستگی ورکتورها بررسی می شود و در ادامه به بررسی انواع ورکتورها در تکنولوژی CMOS ایجاد ورکتور بکمک ترانزیستور های BiCMOS و)Mosfet ایجاد ورکتور بکمک ترانزیستورهای Bipolar و ارزیابی آنها با استفاده ازمعیارهای شایستگی می پردازیم در ادامه انواع ورکتورهای MEMS را معرفی کرده و به مقایسه آن با ورکتورها در تکنولوژی BICMOS CMOS می پردازیم

ورکتور،BiCMOS ،CMOS ،MEMS ، ضریب کیفیت