الهام محقق پور - Radiation Applications Research School, Nuclear Sciences and Technology Research Institute, ۱۴۳۹۵۸۳۶, Tehran, Iran
رضا غلامی پور - Department of Advanced Materials and Renewable Energy, Iranian Research Organization for Science and Technology (IROST), ۳۳۵۳۵۱۱۱, Tehran, Iran
مرجان رجبی - Department of Advanced Materials and Renewable Energy, Iranian Research Organization for Science and Technology (IROST), ۳۳۵۳۵۱۱۱, Tehran, Iran
مجید مجتهدزاده لاریجانی - Physics and Accelerators Research school, Nuclear Sciences and Technology Research Institute, ۱۴۳۹۵۸۳۶, Tehran, Iran

در تحقیق حاضر لایه نازک کربن آمورف با استفاده از روش کندوپاش پرتوی یونی بر شیشه و آلیاژ نیکل- مس ایجاد و همبستگی تحولات ساختاری کربن آمورف با انرژی جنبشی اتم های کربن در مرحله تشکیل پیوند با اتم های دیگر بررسی شده است. تاثیر جنس زیرلایه، دمای انباشت و انرژی پرتوی یون بر تحولات ساختاری لایه های انباشت شده نیز بررسی شده است. نتایج بررسی طیف سنجی رامان نشان دهنده تحولات ساختاری لایه نازک کربن آمورف به سمت کربن شبه الماسی (DLC) با افزایش دمای انباشت تا ۱۰۰ درجه سانتی گراد و انرژی پرتوی یون از دو به پنج کیلوالکترون ولت است. اندازه خوشه های گرافیتی با پیوند sp۲ کوچک تر از یک نانومتر در لایه های کربن آمورف انباشت شده بر آلیاژ نیکل- مس است. نتایج محاسبه تنش پسماند با استفاده از دستگاه پراش پرتوی ایکس (XRD) نشان دهنده روند کاهشی میزان تنش پسماند کششی لایه نازک کربن آمورف با افزایش انرژی پرتوی یون است. 

Thin Film, Amorphous Carbon, Ion Beam Energy, Deposition Temperature, Structural Evolution., لایه نازک, کربن آمورف, انرژی پرتوی یون, دمای انباشت, تحولات ساختاری, کربن شبه الماسی.