مهدی مردانیان - ۱- مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، صندوق پستی: ۳۴۸۶ - ۱۱۳۶۵, تهران – ایران
محمود قرآن نویس - ۲- مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما، دانشگاه آزاد علوم و تحقیقات، تهران- ایران
سیدضیاء طاهری - ۳- گروه فیزیک، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران - ایران

در این پژوهش اثر کاشت یونهای نیتروژن و دی اکسید کربن بر سختی فولاد زنگ نزن ۵۲۱۰۰ در انرژی ثابت KeV ۹۰ با دزهای مختلف مورد بررسی و مقایسه قرار گرفت. کاشت یونهای نیتروژن سختی این فولاد را به مراتب بیشتر از کاشت یونهای دی اکسیدکربن بر روی آن افزایش می دهد. بیشترین افزایش سختی، مربوط به کاشت یونهای نیتروژن با دز ۲cm/ion  ۱۰۱۸×۱ به اندازه ۴۹.۷۰%  نسبت به نمونه شاهد (خام) است. کاشت یونهای دی اکسید کربن با دزهای ۲cm/ion  ۱۰۱۸×۳  و ۲cm/ion  ۱۰۱۹×۱ سختی را به ترتیب به اندازه ۱۷.۱۵و  ۵.۰۱% نسبت  به نمونه شاهد افزایش می دهد. برای تعیین ساختار بلوری شبکه و تشکیل نوع فازها و تغییر احتمالی آنها از نمونه ها تجزیه و تحلیل XRD  به عمل آمد. نتایج حاصل نشان می دهند که در نمونه های کاشت شده به وسیله یون های نیتروژن، افزایش سختی به علت تشکیل فاز   beta-CrN  است. در نمونه های کاشت شده به وسیله یونهای دی اکسیدکربن هیچگونه پیک جدیدی که معرف حضور کربن به صورت گرافیت و یا تشکیل فازی از نوع کاربید باشد مشاهده نشد؛ همچنین با توجه به عدم مشاهده هیچگونه برآمدگی (کوهان) در پیکها نمی توان ادعا کرد که کربنهای موجود در زیر لایه به صورت بی شکل وجود دارند. 

: کاشت یون, یون نیتروژن, یون دی اکسید کربن, سختی, دز و انرژی