مژگان صالحی - دانشگاه صنعتی مالک اشتر اصفهان، دانشکده مهندسی مواد
اکبر اسحاقی - دانشگاه صنعتی مالک اشتر اصفهان، دانشکده مهندسی مواد
عباسعلی آقایی - دانشگاه صنعتی مالک اشتر اصفهان، دانشکده مهندسی مواد

هدف از انجام این تحقیق بررسی پایداری شیمیایی فیلم­ های کربن شبه­ الماسی اعمال شده بر زیرلایه­ های پلی­کربنات می باشد. بدین منظور ابتدا عملیات اچینگ پلاسمایی توسط گازهای آرگون و اکسیژن در زمان­ های مختلف روی سطح پلی­ کربنات انجام شد. سپس تاثیر نوع گاز بر زاویه ترشوندگی و نوع پیوندهای ایجادی بر سطح نمونه­ های اچ شده به ترتیب توسط آزمون اندازه­ گیری زاویه تماس و طیف­ سنجی تبدیل فوریه مادون­ قرمز(ATR-FTIR) بررسی شد. لایه نازک کربن شبه­ الماسی روی سطوح زیرلایه­ های پلی­ کربنات توسط رسوب­ شیمیایی بخار تقویت ­شده به کمک پلاسما با منبع تغذیه فرکانس رادیوئی (RF-PECVD) با فرکانس  MHz۵۶/۱۳ و مخلوط گازی متان و آرگون بر سطوح اچ شده لایه­ نشانی شد. چسبندگی پوشش­ ها توسط آزمون نوار مورد بررسی قرار گرفت. پایداری شیمیایی پوشش در برابر استون و هیدروکسید سدیم ارزیابی شد. نتایج نشان داد عملیات اچینگ پلاسمایی توسط گاز اکسیژن به دلیل تشکیل گروه ­های قطبی روی سطح و کاهش بیشتر زاویه تماس در مقایسه با گاز آرگون، موجب افزایش چسبندگی پوشش به زیرلایه شده است. بررسی طیف­ سنجی رامان حاکی از آن بود که فیلم ­های کربن شبه­ الماسی لایه­ نشانی شده بر سطح زیرلایه­ های پلی­ کربنات پس از عملیات اچینگ توسط گاز اکسیژن در برابر استون و هیدروکسید سدیم، پایداری شیمیایی بهتری داشته و کاهش شدت پیک ­های رامان کمتر شده است.

لایه نازک, کربن شبه الماسی, پایداری شیمیایی, چسبندگی, اچینگ پلاسمایی, پلی کربنات