نیما نادری - پژوهشگاه مواد و انرژی، کرج، ایران
محمد جواد اشراقی - پژوهشگاه مواد و انرژی، کرج، ایران

در این تحقیق، سیلیکون متخلخل به روش نوین حکاکی ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی سنتز شد و تغییرات خواص اپتیکی و ساختاری بر اساس درجه تخلخل نمونه ها مورد بررسی قرار گرفت. در این روش سطح زیر لایه های سیلیکونی ابتدا توسط روش اچینگ شیمیایی به مدت Td (زمان تاخیر) آماده سازی گردید. سپس در روش اچینگ الکتروشیمیایی حفره های اولیه تولید شده در مرحله قبل، امتداد یافته و سیلیکون متخلخل یکنواختی ایجاد شد. با بهینه کردن زمان تاخیر Td، میزان تخلخل و یکنواختی حفره ها بهینه شد. مطالعات مورفولوژی و مشخصه یابی الکترواپتیکی نشان داد که نمونه ای که با زمان تاخیر بهینه تولید شده است، خواص فیزیکی بهتری دارد و می تواند در ادوات نوری همچون آشکارسازهای نوری به طور موثری مورد استفاده قرار گیرد. به منظور بررسی خواص الکترواپتیکی نمونه های متخلخل، آشکارسازهای نوری فلز-نیمه هادی-فلز بر پایه سیلیکون متخلخل ساخته شد. برای این منظور، دو الکترود شانه ای شکل از جنس نیکل به روش لایه نشانی تبخیر حرارتی بر روی نمونه ها رشد داده شد و نمودار جریان – ولتاژ نمونه ها تحت تابش نور مرئی و در تاریکی، مورد بررسی قرار گرفت. 

سیلیکون متخلخل, نانوساختار, حکاکی الکتروشیمیایی, حکاکی شیمیایی, خواص الکترواپتیکی