بهزاد حیدرپور - ایران، تهران، دانشگاه شهید بهشتی، دانشکده مهندسی مکانیک وانرژی ، دانشجوی دکتری
عباس رهی - ایران، تهران، دانشگاه شهید بهشتی، دانشکده مهندسی مکانیک وانرژی، استادیار

با پیشرفت های اخیر در سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) و فناوری نانو، حسگرهای گاز MEMS که می توانند ردپای گاز را تا سطح یک ذره در تریلیون (ppt) تشخیص دهند، مورد توجه قرار گرفته اند. دلیل این محبوبیت اندازه کوچک، حساسیت بهتر، هزینه کم و مصرف کم برق در آنها است. یکی از روش های تشخیص گاز در سیستم های میکرو الکترومکانیکی، میکرو تیر یکسرگیردار با مواد حساس به عنوان لایه فعال برای تشخیص گاز می باشد. ساختارهای مختلف میکرو تیر از نظر میزان جابجایی، حساسیت و فرکانس طبیعی در این مقاله مورد مطالعه قرار گرفته است و بهترین شکل میکرو تیر انتخاب شده است. طراحی و تحلیل المان محدود شکل های مختلف میکرو تیر با استفاده از نرم افزار کامسول صورت گرفته است. نتایج نشان می دهد که شکل میکرو تیر نردبانی بیشترین جابجایی و حساسیت را دارد و می توان از این شکل به عنوان حسگر گاز استفاده کرد. همچنین میکرو تیر با شکل نردبانی، فرکانس طبیعی کمتری نسبت به سایر موارد دارد.

میکرو تیر؛ کامسول؛ حسگر گاز؛ فرکانس طبیعی