محبوبه فتحی کناری - گروه نانوفیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات حصارک بعد از مید
محمود قرآن نویس
سعید نصیری

دراین پروژه با توجه به اینکه هدف پروژه بررسی وابستگی پارامترهای ساختاری به پارامترهای رشد و معرفی نقطه بهینه رشد می باشد دوپارامتر زمان رشد و فشار گاز ورودی به سیستم به عنوان پارامتر مستقل انتخاب شده و تغییرات پارامتری ساختاری مانند میزان متوسط زبری سطح درصدکریستالیته و سایز کریستال الماس نسبت به این پارامترها بررسی شدهاست دراین پروژه از سیستم رسوبگذاری بخار شیمیایی فیلمان داغ HFCVD) به عنوان فرایند و ازگازهای کربن دار مانند متان و گازهای رقیق کننده مانندهیدروژن استفاده شدهاست نتایج نشان میدهد که بالاترین میزان زبری درزمانهای 30 دقیقه 16.2 نانومتر و 60 دقیقه 15.6 نانومتر و درفشار گازی 10 16.2 نانومتر و 150 تور 15.3 نانومتر و بالاترین سایز الماس کریستالی درزمان رشد 30 دقیقه و درفشار 10 تور 1.23 نانومتر بدستآمدها ند.

الماس، نانوکریستال، HFCVD)