منیجه رحیمی - University of Kashan
محمد ترکیهای اصفهانی - University of Kashan
امید رضا کاکویی - Atomic Energy Organization of Iran
وحید فتح اللهی - Atomic Energy Organization of Iran

شناسایی و تعییین نمایه عمقی اکسیژن در سطح مواد، لایه های نازک و به ویژه در کاربردهای صنعتی که با طیف گسترده ای از اکسیدها استفاده می شود، بسیار ضروری است. در این بررسی، از دو روش آنالیز با باریکه یونی (IBA)، یعنی پراکندگی الاستیک تشدیدی (RES) برای اکسیژن (۱۶O(α, α)۱۶O) و واکنش هسته ای (۱۶O(d, p۱)۱۷O و ۱۶O(d, p۰)۱۷O)، برای به دست آوردن نمایه عمقی غلظت اکسیژن در آلومینای آندی نانوحفره استفاده شد. با استفاده از نرم افزار های موجود، طیف های حاصل از آزمایش شبیه سازی شدند و مشخص شد که حداکثر عمق اندازه گیری اکسیژن به دست آمده از روشRES ، اگرچه کمتر از واکنش هسته ای (d,p) است، دقت این روش بسیار بالاتر است. این حساسیت بالا به دلیل قله تیز سطح مقطع تشدیدی است که باعث تفکیک پذیری عمقی خیلی خوب می شود و برای آنالیزهای دقیق، از اهمیت بسیار بالایی برخوردار است.

Ion Beam Analysis, Depth Profiling, Oxygen, آنالیز با باریکه یونی, نمایه عمقی, اکسیژن