حمیدرضا شفیعی - گروه مهندسی مواد، دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
احمدعلی آماده - دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه تهران
هادی مرادی - دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه تهران
مهدی رئوفی - دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه علم و صنعت ایران

روش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PACVD) تلفیقی از روش CVD و PVD به خاطر چسبندگی خوب پوشش با زمینه و دمای پوشش دهی پایین آن می باشد. به همین دلیل روش مناسبی جهت ایجاد پوشش های سرامیکی سخت مقاوم به سایش بر روی فولادهای ابزار است. در تحقیق حاضر پوشش TiN بر روی فولادتندبر DIN 1.3355 به رو فوق در دمای 480 درجه سانتیگراد و با مخلوط گازهای (H(2), N(2),TiCl(4 و Ar رسوب گذاری شد. سپس خواص مکانیکی، ساختار کریستالی و ریز ساختار پوشش بوسیله ریز سختی سنج ویکرز، پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج نشان دادند که پوشش TiN با ضخامت 2/3 میکرون بر روی فولاد ایجاد شد و دارای سختی حدود 1820 ویکرز می باشد.

فولاد ابزار تندبر، پوشش PACVD, TiN