سعید مرساق دزفولی - دانشجوی دکتری، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران، تهران، ایران
سهیلا روح الهی - کارشناسی ارشد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران، تهران، ایران
سید حجت اله حسینی - استادیار، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران، تهران، ایران
کریم زنگنه مدار - دانشیار، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران، تهران، ایران
محمدرضا ابراهیمی فردوئی - کارشناسی ارشد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران، تهران، ایران

دمای زیرلایه نقش مهمی در تحرک گونه­ های کربنی و سازوکار رشد و تشکیل لایه کربن آمورف با مشخصه شبه ­الماسه دارد. ساختار کربن آمورف تحت تاثیر دمای زیرلایه می­ تواند به سمت ساختار شبه ­الماسه و شبه ­گرافیته ­تغییر کند. از­این­رو در پژوهش حاضر، تغییرات ساختاری پوشش کربن شبه ­الماس با تغییر دمای زیرلایه توسط فرایند رسوب­دهی پرتو یونی مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور، پارامتر دمای زیرلایه جهت لایه ­نشانی پوشش کربن شبه­الماس، مقادیر ۸۰، ۱۱۰ و ۱۴۰ درجه سلسیوس در نظر گرفته شد. جهت ارزیابی ساختار و ترکیب شیمیایی پوشش­ های ایجادشده تحت تاثیر دمای زیرلایه، از آنالیزهای طیف ­سنجی رامان و فوتوالکترون پرتوی ایکس (XPS) و برای ارزیابی ضخامت و زبری سطح پوشش­ های اعمالی، از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) و نیروی اتمی (AFM) استفاده شد. مطابق با نتایج، کمترین مقدار زبری سطح پوشش کربن شبه­ الماس، در دمای زیرلایه ۱۱۰ درجه سلسیوس مشاهده شد. همچنین کمترین مقدار ID/IG و بیشترین میزان پیوند sp۳، در دمای زیرلایه ۱۱۰ درجه سلسیوس بدست آمد.

رسوب دهی پرتو یونی, دمای زیرلایه, پیوند Sp۳, کربن شبه الماس