سهیلا روح الهی - دانشگاه مالک اشتر
سید حجت اله حسینی - دانشگاه مالک اشتر
کریم زنگنه مدار - دانشگاه مالک اشتر
محمدرضا ابراهیمی فردوئی - دانشگاه مالک اشتر
سعید مرساق دزفولی - دانشگاه مالک اشتر

انرژی یون کربن یک فاکتور کلیدی در تعیین مقدار پیوندهای sp۳ در ساختار لایه کربن آمورف و ماهیت شبه الماسه است. در این پژوهش، تحولات ساختاری پوشش کربن شبه الماس بر اساس مکانیزم­ تشکیل پیوندsp۳ متاثر از انرژی پرتو یون توسط فرایند لایه­نشانی پرتو یونی مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور، جهت لایه­نشانی پوشش­ها، پارامتر انرژی پرتو یون در مقادیر ۲۰۰، ۳۰۰ و eV ۴۰۰ در نظر گرفته شد. سپس جهت ارزیابی ساختار و ترکیب شیمیایی پوشش­های ایجاد شده، از آنالیزهای طیف­سنجی رامان و فوتوالکترون پرتو ایکس (XPS) استفاده شد. همچنین جهت تاثیر انرژی پرتو یون بر زبری سطح و ضخامت پوشش­های اعمالی، از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) استفاده گردید. سختی و مدول الاستیک توسط آزمون نانوسختی­سنجی اندازه­گیری شد. مطابق نتایج آنالیز رامان، کمترین مقدار نسبت ID/IG در انرژی پرتو یون eV۳۰۰ بدست آمد که برابر با ۶۶/۰ بود. نتایج حاصل از آنالیز XPS گویای کمترین مقدار پیوندهای sp۲ در لایه کربن شبه الماس در انرژی پرتو یونیeV۳۰۰ بود. همچنین نتایج آنالیز AFM، نشان داد که در انرژی پرتو یون eV۳۰۰، زبری سطح پوشش کربن شبه الماس، کمترین مقدار را دارا است. با توجه به بیشترین مقدار پیوندهای sp۳ در انرژی پرتو یونی  eV ۳۰۰، پوشش کربن شبه الماس دارای بیشترین سختی و برابر با GPa ۶/۱۰بود.

Diamond Like Carbon, Ion Beam Energy, Ion Beam Deposition, Sp۳ Bond, کربن شبه الماس, انرژی پرتو یون, پیوند sp۳, رسوب گذاری پرتو یونی