سید محمد عادل عقیلی - گروه مهندسی مواد، واحد مرودشت، دانشگاه آزاد اسلامی مرودشت، ایران
رضا بازرگان لاری - گروه مهندسی مواد، واحد مرودشت، دانشگاه آزاد اسلامی مرودشت، ایران
راحله معمارزاده - گروه مهندسی مواد، واحد مرودشت، دانشگاه آزاد اسلامی مرودشت، ایران
اکبر اسحاقی - دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد

در این مطالعه، اثرات لایه های نازک کربن شبه الماسی آلائیده شده با فلوئور (F-DLC) بر بهبود مقاومت به خوردگی بستره های کبالت- کروم- مولیبدن بررسی شد. برای این منظور، رسوب کربن شبه الماسی آلائیده شده با فلوئور روی بستر ه های کبالت- کروم- مولیبدن از طریق روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به وسیله پلاسما با منبع فرکانس رادیویی انجام پذیرفت. از گازهای متان، آرگون و گاز CF۴ برای پوشش دهی لایه های نازک کربن شبه الماسی آلائیده شده با فلوئور استفاده گردید. از لایه میانی TiN جهت بهبود چسبندگی لایه های کربن شبه الماسی آلائیده شده با فلوئور روی بستره کبالت- کروم- مولیبدن استفاده شد. پارامترهای خوردگی نمونه ها با استفاده از آزمون های پلاریزاسیون و امپدانس الکتروشیمیایی تعیین شد. اندازه گیری های الکتروشیمیایی نشان داد که مقاومت به خوردگی بستره های کبالت- کروم- مولیبدن با اعمال پوشش های کربن شبه الماسی آلائیده شده با فلوئور تا حد زیادی افزایش می یابد، به طوری که پتانسیل خوردگی از ۳۹۶/۰- ولت به ۰۵۷/۰- و جریان خوردگی از ۶-۱۰ × ۵۵/۵ به ۷-۱۰× ۲۸۸/۱ میکرو آمپر کاهش پیدا کرد. طیف سنجی رامان، به عنوان یک روش غیرمخرب برای توصیف مواد مبتنی بر کربن، برای توصیف ساختاری فیلم های DLC و F-DLC استفاده گردید. نتایج غلظت بالاتر پیوند sp۲ و ساختار گرافیتی بیشتری را در فیلم هایF-DLC نشان داد که می تواند منجر به استرس ذاتی کمتر در این فیلم ها در مقایسه با پوشش های DLC شود.

خوردگی, کربن شبه الماسی, RFPECVD, آلیاژ کبالت-کروم-مولیبدن