مجید زارعی - دانشگاه کاشان
محمد الماسی کاشی - دانشگاه کاشان
عبدالعلی رمضانی - دانشگاه کاشان
غفار ترکاشوند - دانشگاه کاشان

نانوحسگرهای رطوبت بر اساس نانو حفره های آلومینا به روش جدید آندیزاسیون سخت مطالعه شد. برای بررسی اثر میزان آنیون های اسیدی موجود در قسمت های مختلف آلومینا بر حساسیت نانوحسگر، دو نوع حسگر دیواره و لایه سدی در دو چگالی جریان متفاوت با ولتاژهای آندیزاسیون ۳۸ و ۴۴ ولت ساخته شد. اثر فرکانس در بازه ۳ تا ۴۰ کیلوهرتز در ولتاژهای مختلف و در دامنه های رطوبت نسبی ۴۰ تا ۹۰ درصد بر حساسیت و زمان های پاسخ و بازیافت نانو حسگرها به روش طیف سنجی امپدانس در دمای اطاق بررسی شده است. نشان داده شد که حسگرهای لایه سدی و حسگرهای ساخته شده با جریان آندیزاسیون بالاتر، دارای حساسیت بیشتری می باشند. همچنین مشاهده شد که حساسیت با فرکانس نسبت عکس داشته و تغییر ولتاژ اعمالی به حسگر اثری بر حساسیت آن ندارد.

نانو حسگر, آلومینای حفره دار, آندیزاسیون سخت