الناز خلیل زاده - سازمان انرژی اتمی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته ای، تهران، ایران
زهره دهقانی - سازمان انرژی اتمی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته ای، تهران، ایران
زهرا رفیعی - سازمان انرژی اتمی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، پژوهشکده چرخه سوخت، تهران، ایران

این مقاله به بررسی ویژگی های ساحتاری نانو ذرات سیلیکونی ساحته شده با استفاده از پلاسما در فشار اتمسفر توسط دسنگاه های آنالیزی مانند میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و طیف سنجی رامان (Raman) می پردازد. نتایج بررسی ها نشان می دهد که پلاسما به دلیل ویژگی منحصر به فرد و کنترل پذیری بالا قادر به تولید نانو ذرات سیلیکونی در ابعاد حدود nm ۴ است . تولید نانو ذرات سیلیکونی به صورت بلوری تنها در نرخ شارشهای بالای گاز ورودی به پلاسما که منجر به شارش و پخش بیشتر پلاسمای آرگون می شود، امکان پذیر است . در شارشهای پایین ، تخلیه پلاسمایی به صورت فیلمانی رخمی دهد که نتیجه آن گرم شدن ذرات به صورت موضعی و تولید نانو ذرات به صورت آمورف است .

میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و طیف سنجی رامان (Raman) نانو ذرات سیلیکونی ، پلاسمای فشار اتمسفر