فرخفر ولیزاده هرزند - دانشگاه محقق اردبیلی ،
علی نعمت اله زاده - دانشگاه محقق اردبیلی ،

طیف سنجی فوتوالکترون پرتو (XPS) X به یکی از پرکاربردترین تکنیک های آنالیز سطح تبدیل شده است . XPSیا طیف سنجی الکترونی برای تجزیه و تحلیل شیمیایی با قابلیت به دست آوردن ترکیب عنصری کمی ، حالت شیمیایی و اطلاعات ضخامت لایه پوششی از بالای ۱۰ نانومتر از سطح نمونه ، یک روش همه کاره و گسترده است . در این مقاله مروری ، اصول اولیه این تکنیک از جمله اثر فوتوالکتریک ، چگونگی برهمکنش الکترون ها با ماده، عوامل موثر در این تکنیک مانند آلودگی سطحی ، و اثر محیط شیمیایی اطراف یک عنصر بر انرژی اتصال الکترون های خود ارائه شده است . همچنین کاردبردها و روشکار این تکنیک مورد بحث قرار گرفته است .

طیف سنجی فوتوالکترون پرتو (XPS) X؛ الکترون اوژه؛ آنالیز عنصری ؛ پرتو X