CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

بررسی ساختار و رفتار تریبولوژیکی پوشش نانوساختار کربن شبه الماس رسوب گذاری شده به روش PACVD و Arc-PVD

عنوان مقاله: بررسی ساختار و رفتار تریبولوژیکی پوشش نانوساختار کربن شبه الماس رسوب گذاری شده به روش PACVD و Arc-PVD
شناسه ملی مقاله: JR_JNMMI-8-30_007
منتشر شده در در سال 1396
مشخصات نویسندگان مقاله:

عیسی کرانیان - استادیار دانشکده علوم پایه، دانشگاه امام علی(ع)، تهران، ایران
رامین نایب زاده - فارغ التحصیل کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی شیمی، دانشگاه صنعتی شریف، تهران، ایران
مهدی غلامپور - استادیار دانشکده علوم پایه، دانشگاه امام علی(ع)، تهران، ایران

خلاصه مقاله:
در این پژوهش پوشش نانوساختار DLC (کربن شبه الماسی) با استفاده از روش PACVD (رسوب­گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما) و روش Arc-PVD (رسوب­گذاری فیزیکی از فاز بخار به کمک قوس کاتدی)، روی فولاد St۳۷ پوشش داده شد. سپس در روش Arc-PVD یک لایه میانی قبل از پوشش DLC رسوب­گذاری گردید. مشخصه یابی و ارزیابی پوشش­ها به­وسیله روش های میکروسکوپ الکترونی روبشی، پراش سنجی پرتو ایکس، طیف سنجی رامان، طیف­ سنجی با تفکیک انرژی، آزمون­های چسبندگی و تریبولوژیکی انجام شد. نتایج نشان داد که پوشش DLC PVD به دلیل حضور لایه میانی TiCrAlN، اندازه ذرات ۳۰ تا ۴۰ نانومتر، سختی گرادیانی و همچنین حضور کاربیدهای تیتانیم و کروم درون پوشش، دارای خواص مکانیکی، چسبندگی و سایش عالی است. اندازه دانه­های پوشش DLC PACVD تقریبا در محدوده­ی ۷۰ تا ۱۱۰ نانومتر اندازه­گیری شد. از طرفی ضخامت پوشش در روش Arc-PVD کم­تر از پوشش حاصل از روش PACVD شد که تنش داخلی کم­تر پوشش منتهی به چسبندگی مناسب این پوشش شد. بنابراین پوشش حاصل از روش PACVD علی­رغم خواص مناسب، نسبت به پوشش  DLC PVDسختی و چسبندگی کمتری از خود نشان داد.

کلمات کلیدی:
رسوب فیزیکی بخار, رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما, کربن شبه الماس, پوشش نانوسختار و فولاد St۳۷

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/1908289/