عقیل موسوی - دانشجوی کارشناسی ارشددانشکده ی مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،مازندران، ایران.
بهرام عزیزا... گنجی - استادیار دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر،دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، مازندران، ایران.

مشخصه های خروجی رزوناتور میکروالکترومکانیکی (MEMS) به پارامترهایی از قبیل نوع تحریک، ساختار، ابعاد و مواد به کار رفته بستگی دارد. در این مقاله عملکرد رزوناتور میکروتیر (مدل الکترو استاتیک) تشریح شده است و تاثیر پارامترهای مختلف بر ضریب کیفیت و فرکانس رزونانس به روش تحلیلی و شبیه سازی نشان داده و مقایسه شده اند.با استفاده از این نتایج میتوان پارامترهای بهینه برای دست یافتن به ضریب کیفیت بالاتر در فرکانس مورد نظر را پیدا کرد.

میکروالکترومکانیک(MEMS)، رزوناتور میکروتیر، ضریب کیفیت، فرکانس رزونانس