رسول باقری - گروه مهندسی مکانیک، دانشکده فنی مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی واحد شهرکرد، شهرکرد، ایران
رضا قادری - گروه مهندسی مکانیک، دانشکده فنی مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی واحد شهرکرد، شهرکرد، ایران

میکرو تیرک ها نسل جدیدی از محرک و سنسورهای رایج در صنعت نانو می باشند. در بین این میکرو تیرک ها، میکرو تیرک های پیزوالکتریک نسل جدیدتری می باشند که با داشتن لایه پیزو الکتریک بر روی خودشان امکان تبدیل شدن میکرو تیرک به حالت خود اندازه گیر و خود محرک را فراهم آورده اند. در این مقاله با انتخاب چهار مدل از رایج ترین میکرو تیرک های پیزوالکتریک به تحلیل ارتعاشی به منظور تعیین چگونگی رفتار آن پرداخته می شود. از آنجایی که شکل هندسی میکرو تیرک های دارای غیر یکنواختی و هندسه ای خاص است، برای تحلیل ارتعاشی از روش المان محدود به کمک نرم افزار آباکوس بهره گرفته می شود. مدل سازی ارتعاشی، در دو مد کاری این نوع میکرو تیرکها خود اندازه گیر و خود محرک انجام می شود تا پارامترهای ارتعاشی و ولتاژ القایی در مد های نوسانی مختلف مورد بررسی قرار گیرد. نتایح تحلیل نشان می دهد در مدهای نوسانی بالا با توجه به پیچش میکرو تیرک، المان انتخاب شده المان مناسبی بوده و المان تیر و تئوری تیرها در تحلیل این میکرو تیرک ها در مدهای نوسانی بالا مورد قبول نیست. مد اول نوسانی بهترین مد عملکرد.برای میکرو تیرک می باشد.

میکرو تیرک پیزوالکتریک، خود اندازه گیر، خود محرک، ولتاژ القایی، مد نوسانی