رضا قادری - دانشکده فنی و مهندسی، واحد شهرکرد، دانشگاه آزاد اسلامی شهرکرد، ایران
شاهین شاه محمدی بنی - دانشکده فنی و مهندسی، واحد شهرکرد، دانشگاه آزاد اسلامی شهرکرد، ایران

در سال های اخیر سیستم های میکروالکترومکانیکی که بدلیل حساسیت بسیار بالایشان به بارگذاری های خارجی در کاربردهای مختلفعلمی و صنعتی همانند کاربردهای بیلوژیکی، شیمیایی، فیزیکی و رئولوژیکی مورد استفاده قرار می گیرند. در این سیستم ها درمد اصلیاستاتیکی و دینامیکی مورد استفاده قرار می گیرند. بنابراین مطالعه رفتار ارتعاشی آنها به منظور مشخص شدن چگونگی رفتارشان ازاهمیت بالایی برخوردار است. بدین منظور در این مقاله به مطالعه رفتار ارتعاشی چهار مدل از رایج ترین مدل های سیستم های میکروالکترومکانیکی پرداخته شده است. به منظور مدل سازی از دو روش جرم متمرکز و المان محدود نتایجی نزدیک به هم در محاسبه ی فرکانسطبیعی ارائه می دهند. همچنین چهار مدل انتخاب شده در چهار مد از پنج مد اول از رفتار خمشی مناسبی برخوردارند.

سیستم الکترومکانیکی، مدار ارتعاشی، مدل سازی المان محدود، ارتعاش خمشی