محسن جعفری حقیقی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
جواد کرمدل - دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
رضا فضایلی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب

رشد فزاینده استفاده از سنسورها در عرصه های گوناگون و همچنین کاربردی کردن تکنولوژیهای جدید برای استفاده در صنعت ، دلیل برای ورود به این عرصه می باشد. از طرفی تکنولوژی میکرو الکترومکانیک با تلفیق المان های الکترونیکی و مکانیکی در ابعاد کوچک بر روی ویفرهای سیلیکونی ، امکان اندازه گیری دقیق با کارایی و قابلیت بالا را فراهم می نماید.در این تحقیق با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیک یک سنسور طراحی و شبیه سازی می شود و اثر ساختار طراحی شده بر حساسیت سنسور فشار میکروالکترومکانیک با مبدل پیزو مقاومتی بررسی و با استفاده از معادلات حاکم، مقدار جابجایی و ولتاژ معادل محاسبه و در نهایت با استفاده از شبیه ساز و با بررسی تغییر وضعیت دیافراگم و رصد عملکردسنسور، راه کارهایی جهت افزایش حساسیت حسگر ارائه می شود

پیزومقاومت، دیافراگم، سنسور، میکروالکترومکانیک