سیدحسین هاشمی نژاد - کارشناس ارشد مهندسی برق گرایش الکترونیک ، مجتمع گاز پارس جنوبی ، عسلویه ، ایران اخذ مدرک کارشناسی ارشد برق الکترونیک از دانشگاه آزاد واحد بوشهر ، شاغل در مجتمع گاز پارس جنوبی
زهیر کردرستمی - دکترای برق گرایش نانوالکترونیک ، دانشکده مهندسی برق ، دانشگاه صنعتی شیراز ، شیراز ، ایران

در این مقاله ، حسگر فشار پیزو مقاومت با تکنولوژی میکروتراشکاری سطحی، طراحی و شبیه سازی شده و تاثیرتغییرات پارامترهای هندسی بر حساسیت سنجش بررسی و طراحی مناسب برای بهبود آن ارایه گردیده است. فرآیندحسگری، مبتنی بر انحراف دیافراگم سیلیکون نیترید می باشد. جهت دستیابی به نتایج دقیق، از روش المان محدود استفاده شده و بر اساس آن حساسیت خروجی سنسور فشار ارزیابی گردیده است. در ابتدا تاثیر شکل هندسی دیافراگمروی خروجی حسگر در فشارهای مختلف بررسی شده است. در ادامه اثر موقعیت مقاومتهای پیزو و ابعاد آنها بر عملکرد سیستم محاسبه گردیده و بهترین شکل و موقعیت قرارگیری مقاومت های پیزو در دیافراگم نتیجه گیری شده است. در پایان نیز پارامترهای یک حسگر فشار پیزومقاومت بهینه شده را بدست آورده ایم . نتایج این شبیه سازی نشان می دهد کهانتخاب صحیح شکل هندسی دیافراگم، ابعاد و موضع پیزو مقاومت ها، قادر به ارتقای حساسیت سنسور و در عین حال کاهشمصرف توان آن می باشد.

حسگر فشار پیزو مقاومت ، سیستم های میکروالکترومکانیکی ، انحراف دیافراگم ، حساسیت سنجش ،روش المان محدود