حمید مطهری - گروه فیزیک ، دانشگاه تربیت مدرس
فاطمه صحرائیان - گروه فیزیک، دانشگاه تربیت مدرس
رسول ملک فر - گروه فیزیک دانشگاه تربیت مدرس

در ابتدا تولید لایه نازک الماس و کربن الماس گونه برروی زیر لایه هایی از جنس فولاد زنگ نزن 316 به ترتیب به روش های TCVD,HWCVD انجام شده است. سپس لایه های تولید شده به کمک طیف سنجی پس پراکندگی میکرورامان مورد بررسی قرار گرفته اند. نتایج طیف سنجی رامان نشان داده است که هر دو لایه نازک مورد نظر به خوبی شکل گرفته اند. سپس با انجام آزمون میکروسختی ویکرز، سختی نمونه ها بررسی شده است . باکمک عکس های گرفته شده میکروسکوپی از سطح نمونه ها، ریخت شناسی لایه های نازک کربن الماس گونه و الماس نشان داده شده اند. همچنین لایه نازک شامل الماس میکرو/نانو بلور توسط SEMتصویر برداری شده است. نتایج حاکی از سختی ویکرز بیشتر لایه کربن الماس گونه نسبت به لایه نازک الماس است.

لایه نازک، کربن الماس گونه، الماس، رسوب گذاری بخار شیمیایی ، طیف سنجی رامان