فاطمه شاهینی - دانشکده فیزیک دانشگاه بین المللی امام خمینی قزوین
محمدرضا خانلری - دانشکده فیزیک دانشگاه بین المللی امام خمینی قزوین
مجید مجتهدزاده - سازمان انرژی اتمی ایران، مرکز تحقیقات کشاورزی و پزشکی هسته ای

در این بررسی لایه نازک ZrN به روش پراکنش بر روی فولاد زنگ نزن 304 انباشت شده، سپس نمونه ها در دماهای مختلف، در مجاورت گاز نیتروژن بازپخت شده اند. مشخصه یابی ریزساختاری و تعیین فازهای کریستالی به ترتیب با توجه به آنالیز XRD,SEM انجام گرفت. در نمودار XRD جهت گیری ترجیهی (220)ZrN قبل از بازپخت مشاهده شد. در دماهای 400C و 500C بعد از بازپخت شدت این پیک زیاد شده که بیانگر این است که شرایط ترمودینامیکی بهتری برای رشد این جهت در این دو دما وجود دارد. با افزایش دما شدت این پیک کاهش یافته و پیک های ZrO2 شکل می گیرد. با توجه به تصاویر SEM مشاهده شد که بعد از باز پخت در دمای 500C سطوح یکنواخت تر شده است. همچنین بعد از بازپخت در دماهای بالا شکل گیری تاول های نوع A ( از جنس ZrN) در اثر تنش مانده و با بالاتر رفتن بیشتر دما تشکیل تاول های نوع B ( از جنس ZrO2) در نتیجه اکسیداسیون می باشد.

لایه نازک، نیترید زیرکونیوم، بازپخت، SEM