لیلا عقلی مقدم - گروه فیزیک دانشگاه اراک
غلامرضا نبیونی - گروه فیزیک دانشگاه اراک
اکبر زنده نام - گروه فیزیک دانشگاه اراک
علی اکبر فراشیانی - گروه مخابرات نوری، مرکز تحقیقات مخابرات ایران

در این تحقیق به منظور دستیابی به بهینه شرایط نفوذ حرارتی روی در زیرلایه نیوبات لیتیم، از فرایند سه مرحله ای استفاده شد. ابتدا انباشت روی به روش کندوپاش مگنترون DC با ضخامت 150nm بر سطح بلور نیوبات لیتیم به دمای (127c) 400k ، سپس حرارت دهی مختصر و اکسیداسیون لایه ی روی انباشتی در دمای 450C به مدت 10 دقیقه و در پایان ، نفوذ حرارتی روی در بازه ای از دما و زمان های مختلف. نتایج آنالیزهاه نشان داد که نفوذ کامل روی در زیرلایه، پس از 3h حرارت دهی در دمای 750C رخ داد که شرایط بسیار مطلوبی است. مطالعه ی سطح نمونه های نفوذدهی شده توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی حاکی از آن بود که نفوذ کامل در شرایطی رخ داده که ساختار لایه انباشتی از حالت جزیره ای به صورت همگن ریزدانه درآمده و منجر به تسهیل نفوذ شده است. طیف های حاصل از پراش اشعه X نیز حاکی از آن بود که ماهیت تک بلوری زیر لایه پس از نفوذ حفظ شده است. همچنین با افزایش دما فازهای جددی سطحی ظهور یافته که کلیه آنها در شرایط نفوذ کامل ناپدید شد.

کندوپاش مگنترون DC، نفوذ حرارتی روی ، مورفولوژی سطح، ساختار بلوری نیوبات لیتیم