مجتبی شفیعی علویجه - دانشکده فیزیک دانشگاه شهید بهشتی تهران
رضا عباسی - دانشکده فیزیک دانشگاه شهید بهشتی تهران
حامد مهدی کیا - پژوهشکده لیزر و پلاسما دانشگاه شهید بهشتی تهران
محمدرضا خانی - پژوهشکده لیزر و پلاسما دانشگاه شهید بهشتی تهران

برای تولید پلاسمای حرارتی از مشعل قوسی جریان مستقیم 5 کیلو وات استفاده شده است. دمای پلاسما بر روی محور پلاسما با روش طیف سنجی محاسبه گردید و در حدود 9000 درجه کلوین به دست آمد. با مشخص شدن شرایط بهینه پلاسما لایه نشانی تیتانیوم نیترید با استفاده از ذرات میکرونی تیتانیوم و پلاسمای آرگون و نیتروژن انجام پذیرفت. آزمایش های میکروسکوپ نوری، سختی سنجی ویکرز، میکروسکوپ الکترون روبشی، پراش پرتو ایکس، ساییدگی (اصطکاک) و خوردگی ( منحنی های تافل) انجام پذیرفت. نتایج نشان داد که لایه از نظر ریخت شناسی، درصد ترکیبات اکسیدی، مقاومت به ساییدگی و خوردگی از کیفیت مطلوبی برخوردار است. میزان ضریب اصطکاک لایه تولید شده 0.35 و سرعت خوردگی لایه 0.02 میلی متر در سال اندازه گیری شد.

لایه نشانی، پلاسما اسپری، مشعل حرارتی، افت و خیز ولتاژ، تیتانیوم نیترید