سجاد عالی پور - اصفهان شاهین شهر دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد
اکبر اسحاقی - اصفهان شاهین شهر دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد
حسین زابلیان - اصفهان صنایع الکترواپتیک صاایران (صاپا)
محمد جان نثاری - اصفهان صنایع الکترواپتیک صاایران (صاپا)

در این پژوهش فیلم های کربن شبه الماسی روی زیر لایه سیلیکونی تک بلور با استفاده از دو گاز آرگون و پروپان به روش باریکه یونی خطی اعمال شد. سپس ساختار کریستالی، نوع پیوندها، نسبت هیبریداسیون های SP3 به SP2، توپوگرافی و مورفولوژی سطح پوشش به ترتیب به روش های آزمون طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز، طییف سنجی رامان و میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی مورد بررسی قرار گرفت. در ادامه منحنی های سیکل گرمایشی نمونه ها در دماهای 300 و 500 درجه سانتی گراد با استفاده از کوره استوانه ای انجام و پایداری حرارتی پوشش کربن شبه الماسی بررسی شد. نتایج نشان داد که پوشش های کربن شبه الماسی تا دمای 200 درجه سانتی گراد در مقابله حرارت پایدار می باشند و در دماهای بالاتر از 200 درجه سانتی گراد این فیلم ها شروع به تجزیه شدن کرده و تخریب می شوند.

لایه نازک، کربن شبه الماسی، پرتویونی، مادون قرمز