CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

مشخصه یابی ماکروررات در پوشش های نیتریدی رسوب فیزیکی بخار قوس کاتدی

عنوان مقاله: مشخصه یابی ماکروررات در پوشش های نیتریدی رسوب فیزیکی بخار قوس کاتدی
شناسه ملی مقاله: ISSE18_010
منتشر شده در هجدهمین همایش ملی مهندسی سطح و چهارمین همایش تخصصی فراوری مواد با لیزر در سال 1396
مشخصات نویسندگان مقاله:

نوید مارچین - اصفهان دانشگاه صنعتی اصفهان، دانشکده مهندسی مواد
فخرالدین اشرفی زاده - اصفهان دانشگاه صنعتی اصفهان، دانشکده مهندسی مواد
حسن چهدی - اصفهان شهرک علمی و تحقیقاتی، شرکت مهندسی سطح سوپن پلاسما

خلاصه مقاله:
پوشش هایی که با فرایند رسوب فیزیکی بخار قوس کاتدی تولید می شوند، عیوب سطحی مختلفی دارند که برگرفته از ذات این روش پوشش دهی است. در حین تبخیر فلز هدف توسط قوس، قطراتی از مذاب از سطح فلز هدف جدا می شوند و به سمت زیر لایه پرتاب شده و روی سطح نمونه منجمد می شود. قطرات منجمد شده (ماکروذرات) که در شکل و اندازه های متفاوتی ظاهر می شوند، تاثیر زیادی بر خواص سطحی قطعات و آزمون های وابسته به مورفولوژی سطح دارند. در پوشش حاضر، نمونه های از فولاد 1.2080 SPK به عنوان زیر لایه عملیات حرارتی و آماده سازی شد و پوشش سرامیکی چهار جزیی TiSiCN توسط دستگاه صنعتی رسوب فیزیکی بخار به روش قوس کاتدی روی آن ها رسوب داده شد. به منظور بررسی مورفولوژی سطح و آنالیز شیمیایی کل پوشش و ماکروذرات، مطالعات ساختاری بامیکروسکپ الکترونی ربوشی و ریز انالیز طیف سنجی توزیع انرژی انجام گرفت. ماکروذرات از نظر شکل و اندازه متفاوت هستند و یافته های عنصری نشان داد که حضور آن ها در این پوشش عمدتا با افزایش عنصر سیلیسیوم همراه است.

کلمات کلیدی:
رسوب فیزیکی بخار، قوس کاتدی، ماکروذرات، مورفولوژی پوشش

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/742036/