محمدصادق عباسی شنبه بازاری - پژوهشگر، گروه مهندسی پلاسما، پژوهشکده فیزیک کاربردی و ستاره شناسی، دانشگاه تبریز
محمدعلی محمدی دورباش - دانشیار، گروه فیزیکاتمی و مولکولی، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
صمد سبحانیان - استاد، گروه فیزیکاتمی و مولکولی، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
احمد جعفرزاده - پژوهشگر، گروه فیزیکاتمی و مولکولی، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز

در این پژوهش کاشت یونی بوسیله ی یون های پرانرژی تولیدی در دستگاه پلاسمای کانونی سهند صورت پذیرفته است. نمونه ها پس از آماده سازی جهت فرآیند مهندسی سطح از طریق کاشت یونی بوسیله دستگاه پلاسمای کانونی سهند از نوع فیلیپوف90 کیلوژولی تحت تابش های پنج، ده و پانزده شات قرار گرفته اند . فاصله نمونه ها از سطح آند و نیز زاویه قرارگیری ثابت در نظر گرفته شد. برای اندازه گیری جریان تخلیه و آگاهی از رسیدن به تنگش ایده آل برای این فرآیند پیچه ی روگوفسکی مورد استفاده قرار گرفت و تغییرات و تخریب های ریزساختار سطحی بوسیله میکروسکوپ نوری پلاریزان برای سطوح شاهد و کاربید تنگستن حاصله مطالعه شده است. نتایج بدست آمده سازگار با پیش بینی و تحقیقات صورت پذیرفته ی پیشین در این زمینه بوده است. کاشت یونی با استفاده از دستگاه پلاسمای کانونی یکی از گزینه های مورد استفاده در مهندسی سطح می تواند در نظر گرفته شود.

پلاسمای کانونی، کاربید تنگستن، مهندسی سطح، کاشت یونی، میکروسکوپ نوری