تحلیل و شناسایی خطای محیطی میکروسکوپهای پروبی روبشی در فرآیند ساخت نانوسازه ها
عنوان مقاله: تحلیل و شناسایی خطای محیطی میکروسکوپهای پروبی روبشی در فرآیند ساخت نانوسازه ها
شناسه ملی مقاله: ICME09_194
منتشر شده در نهمین کنفرانس مهندسی ساخت و تولید در سال 1387
شناسه ملی مقاله: ICME09_194
منتشر شده در نهمین کنفرانس مهندسی ساخت و تولید در سال 1387
مشخصات نویسندگان مقاله:
صادق صادق زاده - دانشجوی دکترای مهندسی مکانیک دانشگاه علم و صنعت ایران
محرم حبیب نژاد کورایم - استاد گروه مهندسی مکانیک دانشگاه علم و صنعت ایران
خلاصه مقاله:
صادق صادق زاده - دانشجوی دکترای مهندسی مکانیک دانشگاه علم و صنعت ایران
محرم حبیب نژاد کورایم - استاد گروه مهندسی مکانیک دانشگاه علم و صنعت ایران
تا این تاریخ، آنالیزهای مقداری(کمّی) بسیار واضحی از پدیده دریفت SPM در فرآیندهای نانوساخت(نانومنیپولیشن) و نانوتصویرگیری ارائه نشده است. زیرا تا به حال تحلیل مکانیکی مشخصی از سیستم صورت نگرفته و تمامی بیان ها فقط از سر حدس و گمان بوده است. در این مقاله آنالیز کمّی پدیده دریفت که عامل اصلی خطا در این سیستمها می باشد، انجام و مقدار آن در فرآیند تصویرگیری و همچنین فرآیند نانوساخت (نانومنیپولیشن) تخمین زده می شود. با درنظرگرفتن گرمای تولیدی در اکچویتور پیزوتیوب، مقدار دریفت سیستم محاسبه شده و نتایج بدست آمده به خوبی با نتایج تجربی انجام شده توسط گروهی فعال در این زمینه مطابقت دارد.
کلمات کلیدی: میکروسکوپ پروبی روبشی، رانش حرارتی، نانومنیپولیشن، تحلیل فضایی، نانوسازه
صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/79849/