محسن حامدی - استادیار دانشکده فنی، نویسنده برای مکاتبات
حامد اسماعیل پور مطلق - کارشناس ارشد ساخت و تولید
محمد بیدهندی - دانشجوی کارشناسی ارشد ساخت و تولید

بعلت گسترش روند استفاده از قطعات کوچک در محصولات مختلف، اغلب اینگونه قطعات از جمله قطعات MEMS در فرایندهای تولید دسته ای و به صورت انبوه ساخته می شوند. حمل و نقل و مونتاژ این قطعات بکمک میکرو روباتها بسیار زمان بر وپرهزینه است. بنابراین استفاده از میکروفیکسچرها در بازرسی، مونتاژ و حمل و نقل این قطعات به هنگام تولید انبوه ضروری است. دراین مقاله تکنولوژی جدید UV-LIGA با توجه به ارزانقیمت بودن آن نسبت به سایر روشها و کارآیی زیاد آن، برای ساخت سیستم میکروفیکسچرینگ انتخاب گردید. هدف اصلی این مقاله طراحی و ساخت میکروفیکسچر قطعات MEMS است. برای دستیابی به این هدف، میکروفیکسچری برای موقعیت دهی و نگهداری قطعات ریز با ابعاد ۵۰ تا ۷۰۰ میکرومتر طراحی و ساخته شد.برای حرکت دادن و موقعیت دهی قطعات، ارتعاشات مکانیکی در محدوده فرکانس اولتراسونیک توسط سرامیک پیزو، در بستر ویفرایجاد می شود. بعد از شناور شدن قطعات در اثر غلبه ارتعاشات مکانیکی بر نیروهای چسبدگی واندروالس و الکترواستاتیک، قطعه کار در سطح ویفر شناور شده و به طرف دهانه ورودی میکرو فیکسچر هدایت می شود تا در داخل فضای میکرو فیکسچر موقعیت دهی شود.

میکروفیکسچر، موقعیت دهی دقیق، جابجایی MEMS