صادق صادق زاده - استادیار، دانشکده فناوری های نوین، دانشگاه علم و صنعت ایران، تهران
میثم عبدالهی - کارشناسی ارشد، دانشکده فناوری های نوین، دانشگاه علم و صنعت ایران، تهران

با پیشرفت تکنولوژی، امروزه نیاز به داشتن لوازم اندازه گیری دقیق تر در صنعت، پزشکی، کشاورزی، هوافضا و سایر علوم بیش از پیش احساس میگردد. در همین راستا، پیشرفت در فناوری ساخت ریز تراشه ها IC ها سبب ظهور تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) با دقت کارکردی بالا و ایجاد امکان ساخت دستهای از ساختارها، دیوایس ها و سیستم های مکانیکی در ابعاد میکرون و بکارگیری در حوزه های کاربردی شامل شتاب سنج ها، سنسورهای فشار، ژیروسکوپ، میکرواپتیک و ...گردیده و این امکان را برای تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است. جاذبه های تجاری فناوری میکروالکترومکانیک مربوط به کم هزینه بودن تولید با حجم بالا، فاکتور ذاتی کوچکی ابعاد در مقیاس میکرون، جرم و توان مصرفی پایین، استحکام توام با دقت بسیار زیاد موجب گردیده که این فناوری ضمن کاربرد در حوزه های مختلف، یکی از کاربردی ترین فناوریها در حوزه خودروسازی قرار گیرد. در این پژوهش ضمن آشنایی کلی با این فناوری نو، زمینه ها و کاربردهای آن، به بررسی روشهای طراحی و ساخت یکی از کاربردهای رایج این فناوری در حوزه میکروشتاب سنج ها که در زمینه های گوناگون اعم از سیستم های ایربگ خودرو، ناوبری اینرسی، سیستم های هدایت و فرمان، سیستم های کنترل حرکت و غیره استفاده میگردند، خواهیم پرداخت.

حسگرهای اینرسی میکروالکترومکانیکی IMS، میکروشتابسنج، سیستم های میکروالکترومکانیکی، کیسه هوا .(Airbag)