امیرمسعود خدادادی بهتاش - دانشجوی کارشناسی ارشد
فرشاد برازنده - استادیار گروه مهندسی ساخت و تولید مکاترونیک

در ارزیابی عملکرد یک سیستم میکروالکترومکانیکی، بررسی قابلیت اطمینان از جایگاه ویژه ای برخوردار است از این رو دراین مقاله به بررسی قابلیت اطمینان دراین تجهیزات پرداخته شده است برای این منظور یک حسگر شتاب شانه ای طراحی شده و قابلیت اطمینان اجزای آن مورد بررسی قرار گرفته است.

قابلیت اطمینان، سیستم های میکرو الکترومکانیکی، مدهای خرابی، حسگر شتاب شانه ای