یاشار غلامی مهرآبادی - دانشکده مهندسی برق، دانشگاه شهید بهشتی تهران، ایران
مهدیه خرسندی فرد - دانشکده مهندسی برق، دانشگاه شهید بهشتی تهران، ایران
کیان جعفری - دانشکده مهندسی برق، دانشگاه شهید بهشتی تهران، ایران
رضا قادری - دانشکده مهندسی برق، دانشگاه شهید بهشتی تهران، ایران

در این مقاله گیت منطقی NAND با استفاده از کلیدهای MEMS طراحی شده است. در ابتدا برای به دست آوردن مدل مناسب برای گیتهای منطقی، چهار کلید MEMS سری مبتنی بر تیرک یکسرگیردار پیشنهاد شده است. سپس تغییراتی در عرض پایه های نگهدارنده و اندازه مساحت تحریک داده شده و نتایج با یکدیگر مقایسه شده است. با این مقایسه یک کلید برای طراحی گیت ها انتخاب شده است. این کلید دارای ولتاژ 4/5pull-in ولت و همچنین زمان کلیدزنی 45μs می باشد. در ادامه گیت منطقی NAND با استفاده از این کلید به دو روش متفاوت طراحی و شبیه سازی شده است. سایر گیت های منطقی نیز با روش مشابه قابل طراحی می باشد و می توان از این گیت ها برای ساخت مدارات منطقی و پردازنده های دیجیتال استفاده نمود. این طرح ها با استفاده از COMSOL شبیه سازی شده است.

تحریک الکترواستاتیک، تیرک یکسرگیردار، کلید، سیستم های میکروالکترومکانیکی، گیت های منطقی