شقایق فرضی کاهکش - دانشکده مهندسی برق و رباتیک ، دانشگاه صنعتی شاهرود،
علی فتاح حصاری - دانشکده مهندسی برق و رباتیک، دانشگاه صنعتی شاهرود،
محمد باقر رحمانی - دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شاهرود

در این پژوهش لایه های نازک تریاکسید مولیبدن بر روی زیرلایه ای از جنس شیشه و با روش دکتر بلید لایه نشانی شد. خواص ساختاری این ماده توسط تحلیل الگوی پراش پرتو X مورد مطالعه قرار گرفت و رشد نمونه ها در سه راستای اصلی (020)، (040) و (060) تشکیل یک ساختار لایه ای و همچنین تشکیل فاز α اکسید مولیبدن را نشان داد. علاوه بر این با تصویربرداری میکروسکوپ الکترونی گسیل میدانی ساختار ورقه ای 2 بعدی مشاهده شد. ساختار حسگر مبتنی براکسید مولیبدن ( 3MoO ) در معرض غلظت های مختلف گاز هیدروژن قرار گرفت. بیشترین و کم ترین حساسیت اندازه گیری شده 15 و 90 درصد و به ترتیب برای 1000ppm و 100 از گاز هیدروژن گزارش شدند. در پژوهش حاضر حساسیت (پاسخ) ساختار تعبیه شده برای گاز هیدروژن نسبت به موارد پیشین ارتقا یافت .

حسگر گاز، هیدروژن، تری اکسید مولیبدن، نیمه هادی های اکسید فلزی