مهرناز اسفندیاری - دانش آموخته کارشناسی ارشد، مجتمع مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه مالک اشتر،تهران،ایران
رضا اسدی - استادیار، مجتمع مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه مالک اشتر،تهران، ایران
پیام حیدری - استادیار، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی واحد رودهن، تهران، ایران

دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطاف پذیر پلیمری مبتنی بر عملگرالکترواستاتیک ارایه شده است. میکروآیینه های انعطاف پذیر معمولا در سیستم های اپتیک تطییقی جهت تصحیح اعوجاج های موجود در جبهه موج نور بکار می روند ازاینرو می بایست دارای دیافراگمی منعطف باشند. در این تحقیق دیافراگم میکروآیینه، از جنس پلیمر SU-8 ساخته شده و بر روی آرایهای از الکترودهای ثابت قرارگرفته است. این دیافراگم با مدول یانگی حدود 50 برابر کمتر از نمونه های رایج سیلیکونی، امکان جابجایی دیافراگم بیشتر و در نتیجه قابلیت تصحیح ابیراها با ولتاژ کمتر را مقدور می سازند به گونه ای که دیافراگرم به شعاع mm2/5 وضخامت mμ 10 را با اعمال ولتاژ 120 ولت حدود μm 4 جابجا می کند . علاوه براین، استفاده از مواد پلیمری بجای سیلیکون در ساخت دیافراگم، سادگی و کم هزینه بودن فرآیند ساخت را نیز به همراه دارد. اما دیافراگم های پلیمری رایج، صافی سطح کمتری در مقایسه با نمونه های سیلیکون دارند. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری جدیدی برای ساخت میکروآیینه استفاده شده که علاوه بر تمام مزایای آیینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونه های سیلیکونی برابری میکند. نتیجه اندازه گیری ناهمواری سطحی حدود واریانس ناهمواری سطح 20 نانومتر را نشان داد. همچنین، به منظور بهینه کردن طرح ساختاری از شبیه سازی المان محدود استفاده شده است.

اپتیک تطبیقی ، پلیمر SU-8 عملگر الکتروستاتیکی ، میکرو آیینه.