بررسی اثر پالس بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه‌های نازک اکسید مولیبدن در ‌لایه‌نشانی به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا (HiPIMS)

سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 219

فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_PSI-18-3_007

تاریخ نمایه سازی: 3 اسفند 1399

چکیده مقاله:

در این تحقیق لایه­ های نازک اکسید مولیبدن به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا در پالس ­های مختلف با طول 60، 90، 120، 150 و 180 میکروثانیه بر روی زیرلایه ­های شیشه ­ای در ترکیبی از گازهای واکنشی و غیرواکنشی با نسبت O2/Ar= 0.66 ‌لایه‌نشانی شده‌اند و مورد مطالعه ساختاری و اپتیکی قرار گرفته ­اند. ترکیب شیمیایی این اکسیدهای فلزی با آنالیز طیف­ سنجی فوتوالکترون پرتوی‌ ایکس (XPS) تعیین و به صوررت MoOx با x های مختلف مشخص شدند. با بررسی خواص اپتیکی مشخص گردید که نقصان اکسیژن در پالس­ه ای طولانی­ تر موجب کاهش متوسط عبور اپتیکی و همچنین کاهش گاف نوار اپتیکی لایه ­ها می­شود.

نویسندگان

حامد نجفی آشتیانی

دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولایت، ایرانشهر

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • 1. R Ganesan et al., Journal of Applied Physics 121 (17) ...
  • 2. S Rtimi et al., Surface and Coatings Technology 250 (2014) ...
  • 3. R Ganesan et al., Plasma Sources Science and Technology 24 ...
  • 4. A Aijaz et al., Solar Energy Materials and Solar Cells. ...
  • 5. S Loquai et al., Solar Energy Materials and Solar Cells. ...
  • 6. J Lin et al., Surface and Coatings Technology 204, 14 ...
  • 7. K Sarakinos, J Alami, and S Konstantinidis, Surface and Coatings ...
  • 8. J Alami et al., Journal of Vacuum Science & Technology ...
  • 9. A P Ehiasarian, Pure and Applied Chemistry 82, 6 (2010) ...
  • 10. E Kusiak-Nejman et al., The Journal of Physical Chemistry C ...
  • 11. M D Tucker et al., Journal of Applied Physics 119, ...
  • 12. M Mickan et al., Solar Energy Materials and Solar Cells ...
  • 13. M Aiempanakit et al., Surface and Coatings Technology 205, 20 ...
  • 14. A Belosludtsev et al., Ceramics International, 43, 7 (2017) 5661. ...
  • 15. S Rtimi et al., Royal Society of Chemistry Advances 3, ...
  • 16. R Ganesan et al., Journal of Physics D: Applied Physics ...
  • 17. T Kubart et al., Plasma Processes and Polymers 4 (S1) ...
  • 18. M Hála et al., Journal of Physics D: Applied Physics ...
  • 19. O Kamoun et al., Physical study of Eu doped MoO ...
  • 20. B Dasgupta et al., The Journal of Physical Chemistry C: ...
  • 21. W Dong et al., American Chemical Society Appl. Mater. Interfaces ...
  • 22. G H Jung et al., Advanced Energy Materials 1, 6 ...
  • 23. A Hojabri, F Hajakbari, and A E Meibodi, Journal of ...
  • 24. J M Pachlhofer et al., Vacuum 13, 1 (2016) 246. ...
  • 25. P Delporte et al., Catalysis Today 23 (1995) 251. ...
  • 26. S Y Sun, J L Huang, and D F Lii, ...
  • نمایش کامل مراجع