بررسی اثر پالس بر خواص ساختاری و اپتیکی لایههای نازک اکسید مولیبدن در لایهنشانی به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا (HiPIMS)
محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 18، شماره: 3
سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 219
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_PSI-18-3_007
تاریخ نمایه سازی: 3 اسفند 1399
چکیده مقاله:
در این تحقیق لایه های نازک اکسید مولیبدن به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا در پالس های مختلف با طول 60، 90، 120، 150 و 180 میکروثانیه بر روی زیرلایه های شیشه ای در ترکیبی از گازهای واکنشی و غیرواکنشی با نسبت O2/Ar= 0.66 لایهنشانی شدهاند و مورد مطالعه ساختاری و اپتیکی قرار گرفته اند. ترکیب شیمیایی این اکسیدهای فلزی با آنالیز طیف سنجی فوتوالکترون پرتوی ایکس (XPS) تعیین و به صوررت MoOx با x های مختلف مشخص شدند. با بررسی خواص اپتیکی مشخص گردید که نقصان اکسیژن در پالسه ای طولانی تر موجب کاهش متوسط عبور اپتیکی و همچنین کاهش گاف نوار اپتیکی لایه ها میشود.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حامد نجفی آشتیانی
دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولایت، ایرانشهر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :