لایهنشانی و بررسی خواص لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر پنجره مادون-قرمز سیلیکونی
محل انتشار: فصلنامه سرامیک ایران، دوره: 4، شماره: 52
سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 200
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_JICERS-4-52_004
تاریخ نمایه سازی: 10 اسفند 1399
چکیده مقاله:
پنجرههای مادون قرمز به عنوان محافظ سامانههای الکترواپتیک در صنایع هوایی و فضایی مورد استفاده قرار میگیرند. با این حال این پنجرهها تحت تاثیر شرایط نامساعد محیطی قرار گرفته و در نتیجه عملکرد سامانههای الکترواپتیک نیز دچار اختلال میشود. اعمال پوششهای محافظ بر پنجرههای مادون قرمز باعث افزایش عملکرد این پنجرهها خواهد شد. در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی با استفاده از دو گاز هیدروژن و متان به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما با منبع تغذیه فرکانس رادیویی(RF-PECVD) بر سطح پنجرههای مادونقرمز سیلیکونی اعمال گردید. ارزیابی ساختاری پوشش با استفاده از آنالیز پراشسنجی پرتوایکس و طیفسنجی رامان صورت گرفت. به منظور تعیین ضریب شکست لایه نازک کربن شبه الماسی روش بیضیسنجی مورد استفاده قرار گرفت. طیف بازتاب نمونهها با استفاده از دستگاهUV-Vis-NIR recording spectrophotometer و همچنین برای اندازهگیری طیف عبور از روش طیفسنجی تبدیل فوریه مادونقرمز استفاده شد. تست سایش ملایم و شدید نیز با هدف بررسی مقاومت سایشی پوشش صورت گرفت. نتایج نشان داد با اعمال لایه نازک کربن شبه الماسی میزان عبور بسترههای سیلیکونی افزایش یافته است. همچنین نتایج تست سایش نشان داد کربن شبه الماسی با ضخامتnm 540 در برابر سایش ملایم و شدید مقاوم بوده و عبور نمونهها در اثر سایش کاهش نیافته است
کلیدواژه ها:
نویسندگان
اکبر اسحاقی
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
عباسعلی آقائی
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :