لایه نشانی و ارزیابی خواص سایشی و پایداری شیمیایی لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر بستره های مسی
محل انتشار: بیست و یکمین همایش ملی مهندسی سطح
سال انتشار: 1399
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 347
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE21_005
تاریخ نمایه سازی: 22 اردیبهشت 1400
چکیده مقاله:
در این تحقیق فیلم نازک کربن شبه الماسی (DLC) بر روی زیرلایه های مسی لایه نشانی شد. برای لایه نشانی ازروش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسمای حاصل از جریان مستقیم (DLC-PACVD) و مخلوطی ازگازهای اولیه پروپان ((۸)H۳C)، آرگون (Ar) استفاده شد. اندازه گیری ضخامت فیلم های لایه نشانی شده وبررسی مورفولوژی سطح با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) انجام شد. پارامترهای پایداری شیمیاییهمچون دانسیته جریان خوردگی با استفاده از آزمون های پلاریزاسیون و امپدانس الکتروشیمیایی تعیین گردید.سختی فیلم، لایه بافر و زیرلایه نیز توسط روش نانوسختی سنجی اندازه گیری شد. ساختار فیلم با استفاده از طیفسنجی رامان (Raman) بررسی گردید. برای بررسی چسبندگی پوشش از روش تست فرورونده راکول C طبقاستاندارد VDI۳۱۹۸ استفاده شد. بررسی ها نشان داد که با حضور فیلم کربن شبه الماسی میزان مقاومت بهخوردگی به طور چشم گیری افزایش یافت. لایه نشانی فیلم TiN به عنوان لایه بافر سبب چسبندگی فیلم کربنشبه الماسی به زیرلایه مس گردید.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
محمد جبلی مقدم
اصفهان، شاهین شهر، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (کارشناس ارشد مهندسی مواد)
اکبر اسحاقی
اصفهان، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (دانشیار)
مظاهر رمضانی
اصفهان، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (استادیار)
غلامرضا رحیمی
اصفهان، صنایع الکترواپتیک ایران