ارزیابی خواص نوری و ساختاری لایه نازک کربن آمورف گرافیتی انباشت شده به روش کندوپاش پرتو یونی در انرژی یون متفاوت

سال انتشار: 1399
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 188

فایل این مقاله در 11 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_IJSSE-16-44_003

تاریخ نمایه سازی: 8 دی 1400

چکیده مقاله:

در تحقیق حاضر لایه نازک کربن آمورف گرافیتی به روش کندوپاش پرتو یونی بر زیرلایه شیشه انباشت شده است. تاثیر انرژی یون در محدوده گسترده از keV ۸/۱ تا keV ۵ بر خواص نوری و ساختاری لایه نازک کربن آمورف بررسی شده است. نتایج بررسی خواص نوری و ساختاری به ترتیب با استفاده از طیفسنجی مرئی- فرابنفش و طیفسنجی رامان نشاندهنده ارتباط مستقیم تحولات ساختاری و فیزیکی میباشد. نتایج بررسی طیفسنجی رامان نشاندهنده تحولات ساختاری لایه نازک کربن آمورف در محدوده تحولات گرافیتی-گرافیتی نانوکریستالی میباشد. اندازهگیری طیف عبور نمونهها، افزایش میزان عبور نور در محدوده مرئی با افزایش انرژی یون از keV ۳ را نشان میدهد که با افزایش نسبت ID/IG و کاهش ضخامت لایه همراه است. مقاومت الکتریکی اندازهگیری شده توسط روش چهارکاوه و شکاف انرژی نوری در محدوده مذکور نیز روند افزایشی دارد. براساس نتایج بدست آمده با استفاده از معادله تاک حداکثر شکاف انرژی نوری لایه نازک کربن آمورف eV۷۵/۳ مربوط به لایه انباشت شده با اندازهی خوشههای گرافیتی برابر با nm ۵ میباشد.

کلیدواژه ها:

لایه نازک کربن آمورف گرافیتی ، خواص نوری ، انرژی یون ، کندوپاش پرتو یونی

نویسندگان

الهام محقق پور

سازمان انرژی اتمی- پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای- پژوهشکده کاربرد پرتوها

مجید مجتهدزاده لاریجانی

پژوهشکده فیزیک و شتابگرها، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران، ایران

مرجان رجبی

پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی های نو، سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران

رضا غلامی پور

پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی های نو، سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران

شهاب شیبانی

پژوهشکده کاربرد پرتوها، پژوهشگاه علوم وفنون هسته ای

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • O. Kutsay, A. Gontar, N. Novikov, S. Dub, V. Tkach, ...
  • P. Mahtani, Optical and Structural Characterization of Amorphous Carbon Films, ...
  • M. Alaluf, J. Appelbaum, L. Klibanov, D. Brinker, D. Scheiman, ...
  • N. Klyui, V. Litovchenko, A. Rozhin, V. Dikusha, M. Kittler, ...
  • Y. Pauleau, Generation and evolution of residual stresses in physical ...
  • L. Bai, G. Zhang, Z. Wu, J. Wang, P. Yan, ...
  • A.M. Asl, P. Kameli, M. Ranjbar, H. Salamati, M. Jannesari, ...
  • Y. Tang, Y. Li, Q. Yang, A. Hirose, Characterization of ...
  • C. Corbella, M. Vives, A. Pinyol, E. Bertran, C. Canal, ...
  • W.S. Choi, B. Hong, Y. Jeon, K. Kim, J. Yi, ...
  • S. Aisenberg, R. Chabot, Ion- Beam Deposition of Thin Films ...
  • C. Donnet, A. Erdemir, Tribology of diamond-like carbon films: fundamentals ...
  • W. Bult, M. Vente, B. Zonnenberg, A.V.H. Schip, J. Nijsen, ...
  • W. Ensinger, Low energy ion assist during deposition—an effective tool ...
  • I. Ahmad, S. Roy, M.A. Rahman, T. Okpalugo, P. Maguire, ...
  • X. Peng, Z. Barber, T. Clyne, Surface roughness of diamond-like ...
  • Q. Jun, L. Jianbin, W. Shizhu, W. Jing, L. Wenzhi, ...
  • E. Mohagheghpour, M. Rajabi, R. Gholamipour, M. Larijani, S. Sheibani, ...
  • بررسی اثر دمای زیرلایه بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن انباشت شده به روش کندوپاش پرتو یونی [مقاله ژورنالی]
  • H. Dai, X. Cheng, C. Wang, Y. Xue, Z. Chen, ...
  • E. Mohagheghpour, M. Rajabi, R. Gholamipour, M.M. Larijani, S. Sheibani, ...
  • J.-K. Shin, C.S. Lee, K.-R. Lee, K.Y. Eun, Effect of ...
  • J. Robertson, Diamond-like amorphous carbon, Materials science and engineering: R: ...
  • I. Alexandrou, A. Papworth, B. Rafferty, G. Amaratunga, C. Kiely, ...
  • A.C. Ferrari, J. Robertson, Interpretation of Raman spectra of disordered ...
  • Y. Lu, S. Huang, C. Huan, X. Luo, Amorphous hydrogenated ...
  • A. Ferrari, A. LI BASSI, B. Tanner, V. Stolojan, J. ...
  • نمایش کامل مراجع