اندازه گیری هیدروژن در عمق نمونه سیلیکان متخلخل به روش آشکارسازی ذرات پس زده از برخورد کشسان
محل انتشار: فصلنامه سنجش و ایمنی پرتو، دوره: 3، شماره: 2
سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 73
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_RSM-3-2_006
تاریخ نمایه سازی: 27 اردیبهشت 1401
چکیده مقاله:
سیلیکان متخلخل (PS) از حل الکتروشیمیایی سیلیکان در محلول HF+DMF به دست می آید. در فرایند تشکیل حفره ها در سیلیکان، ترکیبات هیدروژن دار در سطح دیواره های حفره ها ایجاد می شوند. در این تحقیق با اندازه گیری میزان هیدروژن در عمق نمونه PS، توزیع تخلخل در عمق نمونه تخمین زده شده است. با توجه با ناکارآمدی نرم افزارهای شبیه سازی متداول آنالیز با باریکه یونی، برنامه مناسبی برای شبیه سازی به روش مونت-کارلو نوشته شد تا نزدیک ترین توزیع به نتیجه آزمایش به دست آید. غلظت هیدروژن در عمق نمونه متناسب با میزان تخلخل در نظر گرفته شده است. نتیجه به دست آمده نشان می دهد که بیشترین تخلخل برای نمونه ۹۰% بوده است که در عمق nm ۱۳۹- ۶۹ ایجاد شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
محمد ترکیها
University of Kashan
امیدرضا کاکویی
Atomic Energy Organization of Iran
وحید فتح اللهی
Atomic Energy Organization of Iran
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :