مشخصه یابی پوشش های سخت Me(SiCN) (فلزات واسطهMe = ) و تاثیر آنها در بهبود عملکرد زیربستر

طول عمر و کارایی ابزار، اجزاء و تجهیزات صنعتی، عمدتا به ساختار و نحوه عملکرد آنها در برابر شرایط سخت موجود در محیط های مهاجم وابسته است. طی دو دهه گذشته، علاقه به تولید پوشش های سخت چند جزئی افزایش یافته است. تا کنون، انواع بسیاری از پوشش های بر پایه فلزات واسطه، همچون کروم، تیتانیوم و فلزات واسطه دیرگداز، برای استفاده به عنوان پوشش های محافظ به طور گسترده مورد استفاده قرار گرفته اند. با این حال، دیگر اجزای تشکیل دهنده پوشش های بر پایه فلزات مذکور (به عنوان مثال کربن، نیتروژن و سیلیکون)، مورفولوژی سطح و اندازه دانه ها ، نقش بسیار مهمی در خواص و کاربرد آنها خواهد داشت. به عنوان مثال پوشش های دو جزئی نیتریدی به دلیل ضریب اصطکاک زیاد، نمی توانند کاربرد مورد قبولی در شرایط سایشی داشته باشند. به منظور کاهش ضریب اصطکاک پوشش و افزایش خواص ضد سایش آنها، پوشش های دو جزئی کاربیدی بعنوان کاندید در نظر گرفته می شوند زیرا افزودن کربن به داخل پوشش، می تواند به عنوان روانکار عمل کند. اما تنش داخلی زیاد در پوشش های مذکور اغلب منجر به لایه لایه شدگی و بلندشدگی از روی زیربستر می گردد. پوشش های نازک سه جزئی کربو نیترید، با مزایایی نظیر ضریب اصطکاک بسیار کم، سختی بالا و قدرت چسبندگی مناسب، می توانند خواص مکانیکی و عملکرد تریبولوژیکی بهتری را فراهم کنند. با این وجود، با افزودن عنصر سیلیسیوم (Si)، می توان برخی از مشخصات پوشش را بهبود بخشید.با توجه به دلایل فوق، تهیه پوششهای محافظ چند جزئی بر پایه فلزات واسطه، شامل کربن، نیتروژن و سیلیسیوم، اخیرا به روشی متداول برای اصلاح ساختار و خواص فلزات در حوزه های کاربردی مختلف، تبدیل شده است. از اینرو هدف از مقاله حاضر، بررسی مشخصه های پوشش های چند جزئی Me(SiCN)، بر پایه کروم، تیتانیوم و فلزات واسطه دیرگداز می باشد.