بررسی اثر بار گسترده بر ناپایداری میکروسوییچ یک سر گیردار

ناپایداری عملگرهای الکتروستاتیکی دو سر گیردار در ابعاد میکرو در این تحقیق مورد مطالعه قرار گرفته است .خیزتیر و ولتاژ در حالت ناپایداری که از پارامترهای اساسی در طراحی عملگرهای الکتروستاتیکی محسوب می شوند، با استفادهاز روش تحلیلی تجزیه ادومین اصلاح شده استخراج می شوند .در بررسی میکروسوییچ و در مدل سازی نیروهای الکتروستاتیکیکه بر عملگر اعمال می شوند، اثر میدان الکتریکی جانبی نیز لحاظ می شود. نتایج این تحقیق نشان داد که زمانی که همزمان نیروهای الکتروستاتیک و بار گسترده بر تیر اعمال می شوند، باافزایش ولتاژ الکتریکی خیز تیر افزایش می یابد. همچنین مشاهده می شود که با افزایش بار گسترده ولتاژ ناپایداری کاهش می یابد