ماشین کاری سرامیک نارسانایSi۳N۴ به روش فرآیند ماشین کاری تخلیه الکتریکیEDM

نیترید سیلیسیوم (Si۳N۴) یکی از مهمترین سرامیک های مهندسی است. با توجه به خواص سرامیک ها و فرسایش زیاد ابزار در ماشین کاری، استفاده از روشهای سنتی مناسب نیستند، لذا جهت ماشینکاری این مواد ترد، لازم است تا روشهای دیگری در نظر گرفته شود که به وسیله آنها بتوان مواد سرامیکی را ماشینکاری کرد. فرآیند ماشین کاری تخلیه ی الکتریکی روشی است که می تواند تمامی مواد رسانا را بدون توجه خواص مکانیکی و متالورژیکی ماشین کاری نماید، اما ماشینکاری سرامیک های نارسانا از جمله نیترید سیلیسیم بصورت معمول به روش تخلیه الکتریکی امکان پذیر نمی باشد. لذا در این تحقیق جهت انجام فرآیند ماشینکاری تخلیه الکتریکی سرامیک نیترید سیلیسیوم از روش الکترود کمکی استفاده شده است بدین صورت که پس از آماده سازی نمونه های سرامیکی، پوشش دولایه مس- کربن و تک لایه فویل مس بر روی نمونه ها قرار داده شد و قطعات با موفقیت ماشین کاری شدند. جهت بررسی بیشتر از سطح حفره ماشین کاری شده توسط میکروسکپ الکترونی تصویربرداری انجام شد. نتایج نشان دهنده افزایش نرخ براده برداری در حالت پوشش دولایه نسبت به پوشش تک لایه می باشد. همچنین پس از اتمام عملیات ماشینکاری، از سطح قطعات سرامیکی و ابزار مس، آنالیز EDX انجام شد که نشان دهنده وجود عناصر کربن و مس در سطح ماشین کاری شده می باشد.