Determination of Optical Properties in Germanium Carbon Coatings Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
محل انتشار: مجله علم مواد و مهندسی ایران، دوره: 15، شماره: 1
سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 116
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJMSEI-15-1_004
تاریخ نمایه سازی: 1 اسفند 1401
چکیده مقاله:
In this research, Germanium-carbon coatings were deposited on ZnS substrates by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using GeH۴ and CH۴ precursors. Optical parameters of the Ge۱-xCx coating such as refractive index, Absorption coefficient, extinction coefficient and band gap were measured by the Swanepoel method based on the transmittance spectrum. The results showed that the refractive index of the Ge۱−xCx coatings at the band of ۲ to ۲.۲ µm decreased from ۳.۷۶۷ to ۳.۷۱۵ and the optical gap increased from ۰.۶۶ to ۰.۷۲ eV as CH۴:GeH۴ increases from ۱۰:۱ to ۲۰:۱.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
F. Sousani
Faculty of Materials Science and Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Esfahan, Iran
R. Mozafarinia
Faculty of Materials Science and Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Esfahan, Iran
A. Eshaghi
Faculty of Materials Science and Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Esfahan, Iran
H. Jamali
Faculty of Materials Science and Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Esfahan, Iran
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :