رفتار مکانیکی و الکتریکی ریز مبدل های خازنی با در نظر گرفتن اثرات اندازه

امروزه به منظور مطالعه ی بالینی در تصویربرداری اولتراسونیک، ریزمبدل های اولتراسوند خازنی در بازه فرکانس های بالا مورد استفاده قرار می گیرند. در این مقاله از طریق تحلیل رفتار مکانیکی ریزمبدل اولتراسوند خازنی، پهنای باند فرکانسی و میزان حساسیت آنها ارزیابی شده است. برای طراحی ریزمبدل اولتراسوند که قادر به تولید تصاویر با وضوح بالا باشد، نیاز به یک ساختار خازنی با استفاده از تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکی می باشد. از این رو در این مقاله به منظور پیش بینی رفتار مکانیکی این سیستم به طور دقیق، ناپایداری پولین و پاسخ فرکانسی دیافراگم با در نظر گرفتن نظریه گرادیان های مرتبه بالا بررسی می شود. همچنین، به منظور مطالعه ی جامع، فاکتورهای الکتریکی ساختار ریزمبدل خازنی از جمله ضریب تزویج الکترومکانیکی، فشار خروجی و حساسیت سیگنال دریافتی مورد مطالعه قرار می گیرد. ساختار بررسی شده در این مقاله در واقع یک روش عملی، ساده و دقیق است که برای کاربردهای پزشکی مورد استفاده قرار می گیرد.