A Novel High Sensitivity MEMS Acoustic Sensor using Corrugated Diaphragm
محل انتشار: مجله مهندسی برق مجلسی، دوره: 11، شماره: 4
سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 123
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_MJEE-11-4_007
تاریخ نمایه سازی: 15 اسفند 1401
چکیده مقاله:
In this paper we presented a novel MEMS acoustic sensor using corrugated diaphragm. The corrugated diaphragm is used to decrease the effect of residual stress and thus improve the sensitivity of micromachined acoustic sensor. The displacement and mechanical sensitivity of flat and corrugated diaphragms, and also open-circuit sensitivity and pull-in voltage of sensors are calculated using MATLAB and simulated using FEM (finite element method). The results show that the displacement and mechanical sensitivity of corrugated diaphragm are bigger than the flat one. The pull-in voltage of corrugated sensor is smaller and the open-circuit sensitivity is much higher than the sensor with flat diaphragm. The results also show that the analytical model is very close with FEM simulation results.
نویسندگان
Bahram Azizollah Ganji
Department of Electrical and Computer Engineering, Babol University of Technology, Babol
Mehdi Taybi
Department of Electrical and Computer Engineering, Babol University of Technology, Babol, Iran
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :