Design and Simulation of a Dual-Mode Resonant Temperature sensor Based on MEMS Technology
محل انتشار: فصلنامه ادوات مخابراتی، دوره: 8، شماره: 4
سال انتشار: 1398
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 133
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_TDMA-8-4_004
تاریخ نمایه سازی: 30 فروردین 1402
چکیده مقاله:
In this paper, a dual-mode (DM) micromechanical elliptical ring resonator for use in temperature sensing is reported. The proposed resonator is made of single crystal silicon and works based on beat frequency (fb). In the designed sensor, temperature coefficient of beat frequency (TCfb) will be increased significantly by minimizing the fb and provides better temperature sensitivity. This proposed device was designed and simulated by COMSOL Multyphysics software. By engineering the device geometry, we introduce two adjacent resonant frequencies which produce very small fb in the range of ۲ kHz. The device shows TCf۱ of about ۴۴ ppm/ºC and TCf۲ of ۵ ppm/ºC. Combination of small fb and large ΔTCf, present temperature coefficient of beat frequency (TCfb) about ۱۱۲۰۰۰ ppm/ºC which has approximately ۷۵ improvement in TCfb compared to previous demonstrated DM resonators.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
Elham Farzanegan
Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering, Yadegar-e-Emam Khomeini (RAH) Shahr-e-Rey Branch, Islamic Azad University, Tehran, Iran
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :