Wide Tuning Range and High Quality Factor MEMS Variable Capacitor with Two Movable Plates in ۰.۱۸μm CMOS Technology
محل انتشار: فصلنامه ادوات مخابراتی، دوره: 3، شماره: 2
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 64
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_TDMA-3-2_007
تاریخ نمایه سازی: 28 مرداد 1402
چکیده مقاله:
This article introduces the reader to the performance limitations of micro electro mechanical gap-tuning capacitors fabricated in the commercially PolyMUMPs (Polysilicon Multi-user MEMS Process) foundry. And the advantages of the CMOS technology to fabrication of MEMS tunable capacitors are discussed. Also to increase the both of tuning range and quality factor, a three-plate MEMS tunable capacitor with two movable plates is designed and simulated. The simulation of the capacitor was done using the EM۳DS software which is demonstrated wide tuning range (۳۰۰ percent), that is ۶ times higher than tuning range of the conventional parallel plate capacitor. The proposed capacitor are designed by using the ALCU metal layers of TSMC ۰.۱۸ μm CMOS technology that have caused decreasing the series resistance and increasing the quality factor to ۳۰۰ in ۱ GHZ.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
Mina Ashoori
Department of Electrical Engineering , Sadjad Institute of Higher Education , Mashhad , Iran.
Hooman Nabovati
Department of Electrical Engineering , Sadjad Institute of Higher Education , Mashhad , Iran.
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :