بررسی و مقایسه عملکرد میکروحسگر های پیزورزیستیو و خازنی برای سنجش فشاربا حساسیت بالا

در سالهای اخیر، میکروسنسورها به دلیل هزینه پایین ، ابعاد کوچک و مجتمع سازی آسان مورد توجه بیشتری قرار گرفته اند. سنسورهای فشار به صورت دیجیتالی ، ابعاد کوچک ، کم هزینه و کم مصرف ساخته شده اند که بازده و عملکرد این سنسورها را تا حد قابل توجهی افزایش داده و باعث شده تا موج جدیدی از نوآوریها در این حوزه به راه افتد. سنسورهای پیزورزیستیو و خازنی از متداولترین انواع این سنسورها هستند که در کار حاضر، به بررسی عملکرد، نقاط قوت و ضعف و مقایسه ی کلی این سنسورها پرداخته شده است . نتایج نشان می دهد که سنسورهای خازنی حساسیت بالاتر و سرعت پاسخ دهی بیشتری نسبت به سنسورهای پیزورزیستیو دارند.